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PlasmaX-Lab全能型尝试等离子表表处置设备

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CD-1000-PLC等离子洗濯机技术资料

PlasmaX-Lab全能型尝试等离子表表处置设备

PlasmaX-Lab全能型尝试等离子表表处置设备,, ,, ,,,,是一款专为精密表表工程设计的高端工具。。 。。。。其铝质机关的450 x 300 x 300mm反映舱建设可视窗口,, ,, ,,,,提供40.5升的宽敞处置空间,, ,, ,,,,支持大领域的尝试需要。。 。。。。选取怪异的二级等离子设计和水冷电极,, ,, ,,,,PlasmaX-Lab保障了处置过程中的极致均匀性和效能,, ,, ,,,,满足了高精度表表处置的严格要求。。 。。。。

该设备搭载高效的螺杆真空泵和精确的薄膜规真空计,, ,, ,,,,能急剧达到所需的处置环境,, ,, ,,,,同时保障过程中的不变性。。 。。。。其PLC节造系统通过触摸屏操作,, ,, ,,,,提供自动化处置流程、精确监控和参数调整能力,, ,, ,,,,大大提高了操作方便性和处置的可沉复性。。 。。。。PlasmaX-Lab还支持双气体输入,, ,, ,,,,配有先进的气体流量节造器和液体输入系统,, ,, ,,,,确保了处置过程的矫捷性和多样性。。 。。。。

此表,, ,, ,,,,PlasmaX-Lab强调安全机能,, ,, ,,,,建设急停�?????匾杂Χ源刮G榭�,, ,, ,,,,确保使用过程中的安全。。 。。。。其380V AC, 50HZ, 40A的电源需要,, ,, ,,,,共同0~300W可调的频射产生器,, ,, ,,,,使得该设备不仅合用于多种资料处置,, ,, ,,,,同时也两全环保和能效。。 。。。。


设备参数

反映舱

资料:铝

有效尺寸:450 x 300 x 300mm

容积:40.5升

舱门:装有可视窗口

电极:二级等离子设计,, ,, ,,,,保障单层均匀性和层间均匀性。。 。。。。同时蕴含水冷电极。。 。。。。

样品盘:1套,, ,, ,,,,尺寸:350 x 250mm

真空度丈量

薄膜规真空计,, ,, ,,,,保障真空度丈量精度

真空泵

螺杆真空泵;;;;;;;;24m3 /h

频射产生器

0~300W可调,, ,, ,,,,MHz产生器

节造系统

触摸屏操作,, ,, ,,,,PLC节造系统

PLC可实现下列职能:

自动节造反映过程;;;;;;;;

凭据处置资料设定分歧的处置工艺流程;;;;;;;;

测定真空度、抽真空功夫、充气流速、处置功夫、温度、频射产生器输入功率等指标;;;;;;;;

监测所有的运行指标,, ,, ,,,,保障在设定领域之内;;;;;;;;

设定操作、守护密码。。 。。。。

电源

380V AC, 50HZ, 40A

反映气体

2个气体输入端口,, ,, ,,,,含气体流量节造器(MFC)。。 。。。。

气体输入

直径1/4’’ 管路;;;;;;;;输入压力:1Bar.

液体输入

蕴含液态单体气扮装置,, ,, ,,,,能够设定液态单体流量,, ,, ,,,,气化温度

尾气排放

蕴含尾气输出端口

安全机能

急停�?????�

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